UF3000EX-e
Wafer prober automatico, disponibile per un gran numero di applicazioni speciali
Senza compromessi in fatto di rendimento
Uso estremamente versatile
Grande precisione di navigazione
Misurazione senza contatto
Uso estremamente versatile
Grande precisione di navigazione
Misurazione senza contatto
- Per wafer da 200 a 300 mm di diametro, anche per tipi di wafer speciali
- Unità di azionamento XY Stage di nuovo sviluppo e nuovo algoritmo per un rendimento estremamente elevato
- Piattaforma Z migliorata per la massima forza di prova, per un contatto uniforme sulle probe card High Pin Count di grande superficie
- Schermo tattile LCD da 15 pollici per agevolare il comando
- Optical Target Scope (OTS) per misurare con grande precisione le posizioni di probe card e chuck
- Tri-Color 3-Level Magnifying per rilevamenti a colori e 3 piani di ingrandimento
- Funzione display di navigazione: basta toccare la mappa dei wafer per giungere al qualsiasi punto del wafer desiderato
