UF190R
Wafer prober automatico per wafer da 100 o 120 a 200 mm
Elevata velocità di probing
Vasto campo di applicazione
Elevata sicurezza di pianificazione
Possibilità di aggiungere numerose opzioni
Vasto campo di applicazione
Elevata sicurezza di pianificazione
Possibilità di aggiungere numerose opzioni
- Ora con l’ultima generazione di SW ed elettronica
- Disponibile anche per un gran numero di applicazioni speciali come la movimentazione di wafer MEMS
- Velocità massima nell’asse XY 300 mm/s, nell’asse Z 30 mm/s, angolo di rotazione +-5 gradi
- In opzioni con seconda cassetta di caricamento
- Movimentazione di wafer con braccio robotico e backside holding
