UF2000
Wafer prober automatico per una resa elevata – per wafer da 120 a 200 mm
Controllo del posizionamento con precisione al micrometro
Determinazione esatta della temperatura
Multi pin probing ad alta efficienza
Determinazione esatta della temperatura
Multi pin probing ad alta efficienza
- Precisione +-1,5 µm con nuovissima ottica per determinare a precisione di posizionamento
- Piattaforma Z/θ ultrastabile per contatto multi pin probing
- Controllo esatto della temperatura ambiente, in opzione con low temperature chuck o hot chuck
- Grande versatilità e numerose opzioni, ad esempio caricatore doppio
- Facile utilizzo: display multifunzione e comando mediante schermo tattile
- Ciascun asse di azionamento può essere controllato separatamente, per un controllo ottimale di ogni singolo componente/span>
