UF2000
Nagy áteresztőképességet biztosító, teljesen automata Wafer Prober – 120-tól legfeljebb 200 mm-es lapkákhoz
Mikrométer pontosságú helyzetellenőrzés
Pontos hőmérséklet-meghatározás
Rendkívül hatékony Multi-Pin Probing
Pontos hőmérséklet-meghatározás
Rendkívül hatékony Multi-Pin Probing
- +-1,5 µm-es pontosság a legújabb optikával a helyzetpontosság meghatározásához
- Ultrastabil Z/θ platform Multi-Pin Probing érintkezéshez
- A környezeti hőmérséklet pontos ellenőrzése – opcionálisan felszerelhető a következőkkel: Low Temperature Chuck vagy Hot Chuck
- Rendkívül rugalmas– sokféle opcióval, pl. kétszeres adagolással
- Egyszerűen kezelhető – multifunkciós kijelzővel és érintőképernyős kezelőfelülettel
- Az összes hajtótengely külön vezérelhető – minden egyes alkatrész optimálisan ellenőrizhető
