Wafer Probing gépek

A Wafer Prober gépekre a lapkaalapú chipek elektromos teszteléséhez van szükség. A tesztelőberendezés a legnagyobb pozicionálási pontossággal, teljesen automata módon végzi a lapkák berakodását és továbbítását. Egy komplett tesztcella egy Wafer Prober berendezésből, egy tesztelőegységből, valamint egy tesztelőkártyából (Probe Card) áll. 200 mm-től 300 mm átmérőjű lapkákhoz használható Flagship Wafer Prober berendezéseink az új technológiáknak köszönhetően nemcsak rendkívüli pontossággal végzik munkájukat, de átlagon felüli áteresztőképességükkel maximális kihasználtságot és termelékenységet is eredményeznek.

≤ 200 mm-es Wafer Proberek

Megfelelő megoldást kínálunk minden igényhez: termékpalettánkban minden fellelhető a jól bevált teljesen automata alapmodelltől egészen a széles hőmérséklettartományban is legnagyobb pontossággal működő, ultragyors High End modellig.

UF190R
 UF200R
 UF2000

≤ 300 mm-es Wafer Proberek

Nagy áteresztőképesség és +-1,5 µm-es pontosság legfeljebb 300 mm átmérőjű lapkákhoz. Minden tesztkörnyezethez illeszkednek, egyszerűen kezelhetők és irányíthatók.

UF3000EX
 UF3000EX-e

Wafer és Frame Proberek

Rendkívüli rugalmasság. A Frame Handling Prober berendezések ultravékony egész lapkák, valamint dicing frame-re helyezett lapkák tesztelésére is használhatók.

 FP2000
 FP3000

Key Features

High Voltage

High Current

Vaccum-less handling (MEMS)

Light-free 

Group Index

Bump Probing

Color Camera

Super-high Magnification camera

Mini environment (ISO xx)

OHT

Thin Wafer

Ultra Thin Wafer

Top-side handling