UF3000EX-e

Vollautomatischer Wafer Prober – verfügbar für eine Vielzahl von Sonderanwendungen

Kompromisslos im Durchsatz

Hochflexibel in der Anwendung

Punktgenau in der Navigation

Berührungslos bei der Messung

Für Wafer von 200 bis 300 mm Durchmesser – auch für spezielle Wafertypen
Neu entwickelte XY Stage Antriebseinheit und neuer Algorithmus für extrem hohen Durchsatz
Verbesserte Z-Plattform für höchste Probekraft – für gleichmäßigen Kontakt auf großflächigen und High Pin Count Probe Cards
15 Inch LCD Touch Screen für einfache Bedienbarkeit
Optical Target Scope (OTS) zum hochpräzisen Messen der relativen Positionen von Probe Card und Chuck
Tri-Color 3-Level Magnifying für farbige Aufnahmen in 3 Vergrößerungsebenen
Navigations Display Funktion – durch einfaches Berühren der Wafermap kann der User zu jedem gewünschten Waferpunkt gelangen