UF3000EX

Vollautomatischer Wafer Prober für höchste Produktionsansprüche – noch schneller und genauer

Extrem hoher Durchsatz

Höchste Probe-Kraft

Optisches Mess-System

Punktgenaues Navigieren

Neu entwickelte XY Stage Antriebseinheit und neues Berechnungsverfahren für extrem hohen Durchsatz
Verbesserte Z-Plattform für höchste Probekraft – für gleichmäßigen Kontakt auf großflächigen und High Pin Count Probe Cards
Hochstabile Z-Achse mit großflächiger Nadel-Reinigungseinheit
15 inch LCD Touch Screen für einfache Bedienbarkeit
Optical Target Scope (OTS) zum hochpräzisen Messen der relativen Positionen von Probe Card und Chuck
Tri-Color 3-Level Magnifying für farbige Aufnahme und 3 Vergrößerungsebenen
Navigations Display Funktion – durch einfaches Berühren der Wafermap kann der User zu jedem gewünschten Waferpunkt gelangen