UF2000

Vollautomatischer Wafer Prober für hohen Durchsatz – für 120 bis 200 mm Wafer

Mikrometergenaue Platzierungskontrolle

Exakte Temperaturbestimmung

Hocheffizientes Multi-Pin Probing

Man sieht hier eine Frontansicht eines UF2000.

Präzision +-1,5 µm, mit neuester Optik zur Bestimmung der Platzierungsgenauigkeit
Ultrastabile Z/θ Plattform für Multi-Pin Probing Kontakt
Genaue Kontrolle der Umgebungstemperatur – optional mit Low Temperature Chuck oder Hot Chuck
Hohe Flexibilität – zahlreiche Optionen wie Zweifachlader
Einfache Bedienung – multifunktionales Display und Touch Screen Bedienung
Jede Antriebs-Achse kann separat kontrolliert werden – für eine optimale Kontrolle jeder einzelnen Komponente

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