High Rigid Grinding
Wafer werden mittlerweile nicht nur aus Silcium hergestellt, sondern auch aus sehr harten Materialien wie SIC, Saphir Si oder GaN. Für diese Materialien sind die extrem stabilen und vibrationsarmen ACCRETECH High Rigid Grinder das Mittel der Wahl. Die dünn geschliffenen Wafer lassen sich beim anschließenden Wafer Dicing einfacher und mit höherem Durchlauf vereinzeln als dickere Wafer, der Verschleiß von Bladematerial ist geringer. Auch das Risiko von Haarrissen oder eines Absplitterns beim Wafer Dicing lässt sich durch das Wafer Edge Grinding deutlich verringern.