AP3000/AP3000e
Leistungsstarker Wafer Prober der nächsten Generation
Extrem hohe Genauigkeit
Geringe Vibration und geräuscharm
Hoher Durchsatz (Indexbewegung, Wafer-Handling, Wafer-Ausrichtung)
Einfache Handhabung
Hohe Sicherheit: Anti-Virus/Anti-Malware-Software ist standardmäßig installiert
Geringe Vibration und geräuscharm
Hoher Durchsatz (Indexbewegung, Wafer-Handling, Wafer-Ausrichtung)
Einfache Handhabung
Hohe Sicherheit: Anti-Virus/Anti-Malware-Software ist standardmäßig installiert
Optionen
- Nadelreinigung (Reinigung Wafer oder Reinigungseinheit)
- Fan filter unit (mini-environment)
- HF jig/manipulator, Tester interface
- Loader : 2 Loader / Automation with AMHS
- Chuck: Ambient / Hot temp. / Low temp. /Low noise
- APC : Auto probe card exchange
- Cassette ID reading
- Wafer ID reading (Top surface / Back surface)
- GB-IB Interface
- Prober Network (Veganet, Light-Veganet, Vega-Planet, GEM)
- PCAS (Probe card auto setup