Stroje k proměřování waferů

Krokové testery Wafer Prober jsou stroje, které jsou potřebné pro elektrické proměřování jednotlivých čipů na waferu. Zařízení plně automaticky nakládá a pracuje s wafery při zachování nejvyšší přesnosti polohování. Kompletní měřící zařízení se skládá ze stroje, karty s testovacími piny a testeru za kartou. Díky nové technologii pracují naše vlajkové modely s wafery o průměrech až 200mm nebo 300mm nejen s maximální precizností, ale přitom splňují i vysoké nároky na rychlost a produktivitu.

≤ 200 mm Wafer Prober

Správné řešení pro každý požadavek: od osvědčených, plně automatických základních modelů až po ultrarychlé high-endové modely s nejvyšší možnou přesností a velkým rozsahem testovacích teplot.

UF190R
 UF200R
 UF2000

≤ 300 mm Wafer Prober

Vysoká kapacita a přesnost ±1,5 µm pro wafery do průměru 300 mm. Přizpůsobí se každému testovacímu prostředí a nabízí jednoduchou manipulaci a navigaci.

UF3000EX
 UF3000EX-e

Wafer a Frame Prober

Flexibilita na vysoké úrovni. Frame Handling Prober lze používat jak pro testování samotných waferů, tak i waferů na rámu pro následné oddělování.

 FP2000
 FP3000

Klíčové vlastnosti

Vysoké napětí

Vysoký proud

Práce s minimem vakua (MEMS)

Light-free 

Indexování skupin

Bump sondování

Barevná kamera

Super-high Magnification kamera

Miniekosystém (ISO xx)

OHT

Tenký wafer

Ultra-tenký wafer

Top-side handling